|
|

|
KIST¿¡¼ ¹ß¸íÇÑ Vacuum transfer Nano-Indenter (»çÁø=KIST) |
|
ÃÖ±Ù ÀÚµ¿Â÷ ¹èÅ͸® ÈÀ糪 žçÀüÁö Àü·Â °³¹ß ¼ö¿ä ±ÞÁõ, Àü±âÂ÷ ¹èÅ͸® ±â¼ú ½ÃÀåÀÌ È®´ëµÇ¸é¼ »êÈ, ½Àµµ¿¡ ¹Î°¨ÇÑ »ùÇÃÀÇ ¿¬±¸°¡ Áõ°¡ÇÏ´Â Ãß¼¼´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌÂ÷ÀüÁö ¼ÒÀç¿Í °°Àº »êÈ µÇ´Â »ùÇÃÀº ¼öºÐ ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ³ô±â ¶§¹®¿¡ °ø±â Áß ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ Ãë¾àÇÏ°í ´ë±â Áß¿¡¼ ºÒ¾ÈÇØ ºÐ¼®ÀÌ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖÀ¸¸ç, ºÐ¼®½Ã ½Ç³» ½Àµµ Á¦¾î°¡ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏ´Ù.
»êÈ¿¡ ¹Î°¨ÇÑ »ùÇÃÀº °ø±â ³ëÃâÀÌ µÇ¸é »ùÇà ǥ¸é ±Ùó¿¡¼ ±Þ¼ÓÇÑ ¸ðµâ·¯½º °¨¼Ò·Î À̾îÁ®¼ Vacuum ½Ã½ºÅÛÀÌ ±¸ÃàµÈ SEM Àåºñ Nano indenter°¡ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. Nano-Indenter´Â ¹°ÁúÀÇ Åº¼º ¹× °æµµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, À̸¦ ÅëÇØ ¹°ÁúÀÇ Æ¯¼ºÀ» ¿¬±¸ÇÏ´Â ÀåºñÀÌ´Ù. ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ¾È¿¡¼ÀÇ ±â°èÀû ¹°¼º ºÐ¼®À» ÅëÇØ ÀÌÂ÷ÀüÁö ¼ÒÀçÀÇ ¿¡³ÊÁö ¹ÐµµÀÇ ¸ÞÄ¿´ÏÁò ºÐ¼®°ú °³¼± ¹æÇâ Á¦½Ã¿¡ Ź¿ùÇÑ ¿ªÈ°À» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøµÇ¸ç, ÀÌ´Â °ª½Î°í ¾ÈÀüÇÑ ¸®Æ¬ ÀÌÂ÷ÀüÁö¿ë Àü±Ø ¼ÒÀçÀÇ °³¹ßÀ» À§ÇØ ÇʼöÀûÀÎ ±â¼ú·Î Æò°¡µÈ´Ù.
ÀÌ¿¡ KIST Ư¼ººÐ¼®¼¾ÅÍ ±è¼ÒÈñ ¿¬±¸¿øÀº °ø±â Áß ¼öºÐ ¹× »ê¼Ò¿Í ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ³ôÀº ¸®Æ¬ÀÌÂ÷ÀüÁö ¼ÒÀç °è¸éÀÇ ±â°èÀû ¹°¼º ºÐ¼®À» À§ÇÑ SEM-nano indentation¿ë Áø°ø»ùÇøµ ½Ã½ºÅÛ ±¸ÃàÇß´Ù.
Vacuum-transfer ÀåÄ¡°¡ ±¸ÃàµÈ SEM-Nano Indeter Àåºñ´Â Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ÇöÁ¸ÇÏÁö ¾Ê´Â °ÍÀ¸·Î È®ÀεŠÀÚü °³¹ß·Î µ¶º¸ÀûÀÎ Àåºñ·Î Ȱ¿ëµÉ ¼ö ÀÖ°í À̸¦ ÅëÇØ ¼ö¿ù¼º ÀÖ´Â ¿¬±¸°á°ú°¡ µµÃâµÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇϰí ÀÖ´Ù.
|
|

|
±è¼ÒÈñ ¿¬±¸¿ø (»çÁø=KIST) |
|
±è¼ÒÈñ ¿¬±¸¿øÀº ÀÌ Àåºñ¸¦ ¿ÃÇØ 8¿ù ±¹³» ƯÇã Ãâ¿øÀ» ÁøÇàÇß´Ù. ³»³â¿¡´Â ÇØ¿Ü ƯÇã¿Í ±â¼úÀÌÀüÀ» ÅëÇØ ±×µ¿¾È ºÐ¼®ÇÏÁö ¸øÇß¾ú´ø ½Àµµ¿¡ ¹Î°¨ÇÑ »ùÇÃÀ» ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ¾È¿¡¼ ½Ç½Ã°£À¸·Î ±â°èÀû °µµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ¾Ë¸®·Á°í È«º¸Çϰí ÀÖ´Ù.
±è ¿¬±¸¿øÀº ¡°Vacuum-transfer ÀåÄ¡°¡ ±¸ÃàµÈ SEM-Nano Indenter Àåºñ ¹ß¸íÀ¸·Î ÇâÈÄ ÀÌÂ÷ÀüÁö¿Í °°Àº »êÈ¿¡ ¹Î°¨ÇÑ »ùÇÃÀÇ ±â°èÀû ¹°¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â À¯ÀÏÇÑ ¹æ¹ýÀÌ µÉ °ÍÀ̸ç, ÇöÀçÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹ÇÒ ¼ö Àִ ȹ±âÀûÀÌ°íµµ Áö¼ÓÀûÀÎ ±â¼ú Áøº¸°¡ ±â´ëµÈ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
°íüÀüÇØÁúÀº ¼öºÐ ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ³ô±â ¶§¹®¿¡ °ø±â Áß ¾ÈÀü¼ºÀÌ Ãë¾àÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ ´ë±â Áß¿¡¼ ºÒ¾ÈÇØ ´ë·® »ý»êÀÌ ¾î·Á¿ö, ¼¿ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼´Â ½Àµµ 1%·Î Á¦Á¶Çϸç, ºÐ¼®½Ã¿¡´Â ½Àµµ 5% ÀÌÇÏÀÇ È¯°æÀ» ÇÊ¿ä·Î ÇÑ´Ù.
±è ¿¬±¸¿ø¿¡ µû¸£¸é À̹ø ¹ß¸íǰÀ¸·Î ½ÇÇèÇÑ °á°ú ½Àµµ 1.72%±îÁö Á¦¾îµÈ´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î Á¦Á¶, Áø°ø Æ÷ÀåÇÏ´Â ¼³ºñ(Glove Box)ÀÇ ³»ºÎ ½Àµµ°¡ 2% ³»¿ÜÀÎ Á¡À» °¨¾ÈÇÒ ¶§ À̹ø ¹ß¸í¿¡¼ Á¦°øÇϴ ȯ°æ Á¶°ÇÀº ÇØ´ç ¼³ºñº¸´Ù »ùÇÃ ÃøÁ¤¿¡ ÀûÇÕÇÑ È¯°æÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.